鹽城日泰氫氣純化裝置（電加熱管，防爆電加熱器）屬于干燥塔防爆電加熱器氣體純化裝置技術領域。

背景技術：

2.隨著集成電路等行業(yè)的高速發(fā)展，在集成電路成品制作工藝過程中對使用氣體純度的要求越來越高，雜質要求小于1ppb。目前的氫氣純化技術多采用前端催化后端干燥吸附的技術，前端催化工藝可使雜質反應生成二氧化碳和水，后端深度吸附工藝吸附脫除二氧化碳和水等雜質。此技術雖然在一定程度上脫除雜質烴類、一氧化碳、二氧化碳和水，但脫除深度已經不能滿足生產使用需求，為此針對上述問題，設計一種氫氣純化裝置很有必要。


技術實現(xiàn)要素：

3.對上述背景技術所提及的技術問題，而采用以下技術方案來實現(xiàn)：
4.氫氣純化裝置，包括罐體，所述罐體的內部設有純化罐，所述罐體的內部還設有換熱器，所述純化罐的底部通過導管與換熱器相連通，且所述導管的一端與氣動隔膜閥相連通，所述氣動隔膜閥的另一端連通有進氣管，所述純化罐的頂部連通有第二導管，所述第二導管與換熱器相連通，并所述第二導管的一端連通有第三氣動隔膜閥。
5.作為優(yōu)選實例，所述罐體包括內筒和外殼，所述內筒套設在外殼內，所述外殼與內筒二者之間設有空隙，所述內筒的外側壁上連通有第三導管，所述第三導管的一端貫穿空隙和外殼，并連通有手動閥，器貫穿空隙和外殼的第三導管的端部分別連通有兩個第四導管，其中一個所述第四導管上安裝有第二手動閥，另一個所述第四導管上安裝有液位表，兩個所述第四導